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公开/公告号CN207006998U
专利类型实用新型
公开/公告日2018-02-13
原文格式PDF
申请/专利权人 云南北方光电仪器有限公司;
申请/专利号CN201720711875.1
发明设计人 方何仅;朱惠;李兴邦;张昌;周杰;艾德喜;角配桃;周玲玲;吕文星;万澎;鲍佳男;张聪;
申请日2017-06-19
分类号
代理机构昆明今威专利商标代理有限公司;
代理人赵云
地址 650114 云南省昆明市西山区海口街道办事处300号
入库时间 2022-08-22 03:59:43
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-02-13
授权
机译: 用于EUV波长范围的反射镜,用于该反射镜的基板,用于包括该反射镜或基板的用于微光刻的投影物镜以及用于包括该投影物镜的用于微光刻的投影曝光设备
机译: EUV波长区域镜,镜基板,包括该镜或基板的微光刻投影物镜以及包括投影物镜的微光刻投影曝光设备
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