公开/公告号CN103972014B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-05-18
原文格式PDF
申请/专利权人 中国地质大学(北京);
申请/专利号CN201410219012.3
申请日2014-05-22
分类号
代理机构北京成创同维知识产权代理有限公司;
代理人张锦波
地址 100083 北京市海淀区学院路29号
入库时间 2022-08-23 09:40:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-07
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 37/32 授权公告日:20160518 终止日期:20180522 申请日:20140522
专利权的终止
2016-05-18
授权
授权
2016-05-18
授权
授权
2014-09-03
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/32 申请日:20140522
实质审查的生效
2014-09-03
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20140522
实质审查的生效
2014-08-06
公开
公开
2014-08-06
公开
公开
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机译: 通过转换多个等离子体参数的期望值以控制每个腔室参数的值,根据多个等离子体参数的期望值来控制等离子体反应器的腔室参数的方法
机译: 通过控制源功率和偏置功率的腔室参数,相对于选自离子密度,晶片电压,蚀刻速率和晶片电流的两个等离子体参数操作等离子体反应器腔室的方法
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