公开/公告号CN205157141U
专利类型实用新型
公开/公告日2016-04-13
原文格式PDF
申请/专利权人 国家电网公司;国网重庆合川区供电有限责任公司;
申请/专利号CN201521031673.X
申请日2015-12-11
分类号G01M3/26(20060101);
代理机构11129 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司;
代理人谢殿武
地址 100031 北京市西城区西长安街86号
入库时间 2022-08-22 01:17:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-01-26
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01M3/26 授权公告日:20160413 终止日期:20161211 申请日:20151211
专利权的终止
2016-04-13
授权
授权
机译: 基于三氟甲烷和六氟化硫的氮化物开放蚀刻工艺
机译: 基于三氟甲烷和六氟化硫的氮化物开放蚀刻工艺
机译: 基于多个分离膜模块的多步骤分离收集工艺可分离高浓度六氟化硫的装置和方法