首页> 中国专利> 光固化性组合物及表面具有微细图案的成形体的制造方法

光固化性组合物及表面具有微细图案的成形体的制造方法

摘要

提供能够形成环境特性、脱模性优异的固化物、氟表面活性剂与其它成分的相溶性优异的光固化性组合物、以及能够制造表面具有模的相反图案被精密地转印而得的微细图案且表面的组成均匀的成形体的方法。一种光固化性组合物,是以具有1个以上(甲基)丙烯酰氧基的化合物为主成分的压印用光固化性组合物,含有以下聚合物(D)。含有CH2=C(R11)-C(O)O-Q-Rf单元20~45质量%、CH2=C(R21)-C(O)O-(CH2CH(R22)O)n-H(数均分子量350以下)单元20~65质量%和CH2=C(R31)-C(O)O-R32单元5~40质量%、质均分子量1000~5000的聚合物(D)。R11、R21、R31=氢原子、甲基、Q=2价的连接基团等、Rf=碳数1~6的多氟烷基等、R22=氢原子等、n=3~6、R32=碳数2~15的脂肪族烃基。

著录项

  • 公开/公告号CN103038860B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-05-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 旭硝子株式会社;

    申请/专利号CN201080068331.9

  • 发明设计人 藤江彩子;川口泰秀;中山史子;

    申请日2010-08-04

  • 分类号H01L21/027(20060101);B29C59/02(20060101);C08F220/28(20060101);

  • 代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;

  • 代理人侯莉

  • 地址 日本东京

  • 入库时间 2022-08-23 09:40:00

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-09-14

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/027 变更前: 变更后: 申请日:20100804

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2016-05-18

    授权

    授权

  • 2016-05-18

    授权

    授权

  • 2013-05-08

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/027 申请日:20100804

    实质审查的生效

  • 2013-05-08

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/027 申请日:20100804

    实质审查的生效

  • 2013-04-10

    公开

    公开

  • 2013-04-10

    公开

    公开

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