基于子孔径拼接法与计算全息法的非球面干涉检测装置

摘要

基于子孔径拼接法与计算全息法的非球面干涉检测装置，涉及利用子孔径拼接法与计算全息法获取非球面光学元件表面粗糙度的装置，属于光学检测领域，本实用新型为解决现有干涉法测量非球面光学元件时精度较低、速度较慢、耗时长的问题。本实用新型包括He-Ne激光器、第一反光镜、第二反光镜、第三反光镜、准直器、扩束镜、第一准直透镜、第二准直透镜、第三准直透镜、分光镜、非球面光学元件、步进电机、起偏器、液晶光阀、计算机、液晶光阀驱动电路、检偏器和CCD；非球面光学元件的下方架设有步进电机，通过步进电机的转动完成对非球面光学元件口径的全部测量。本实用新型用于检测非球面光学元件的表面粗糙度。