公开/公告号CN203785632U
专利类型实用新型
公开/公告日2014-08-20
原文格式PDF
申请/专利权人 上海微电子装备有限公司;
申请/专利号CN201320891206.9
申请日2013-12-31
分类号
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人屈蘅
地址 201203 上海市浦东新区张东路1525号
入库时间 2022-08-22 00:14:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-08-11
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01B11/02 变更前: 变更后: 申请日:20131231
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2014-08-20
授权
授权
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