公开/公告号CN103757950B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-05-04
原文格式PDF
申请/专利权人 嘉兴市双桥工艺植绒厂;
申请/专利号CN201310707544.7
发明设计人 金惠萍;
申请日2013-12-20
分类号
代理机构北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人汤东凤
地址 314000 浙江省嘉兴市秀洲区王江泾双桥村陈家村35号
入库时间 2022-08-23 09:39:11
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-06
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):D06Q 1/00 授权公告日:20160504 终止日期:20181220 申请日:20131220
专利权的终止
2016-05-04
授权
授权
2016-05-04
授权
授权
2014-06-04
实质审查的生效 IPC(主分类):D06Q1/00 申请日:20131220
实质审查的生效
2014-06-04
实质审查的生效 IPC(主分类):D06Q 1/00 申请日:20131220
实质审查的生效
2014-04-30
公开
公开
2014-04-30
公开
公开
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机译: 牵伸位移测量方法,曝光方法,渐变图案,渐变图案绘制方法和渐变图案绘制设备
机译: 用于在基板的两侧上形成相对于基板具有镜像关系的图案的图案绘制装置和图案绘制方法,以及用于该图案绘制装置的测试装置
机译: 用于在基板的两侧上形成相对于基板具有镜像关系的图案的图案绘制装置和图案绘制方法,以及用于该图案绘制装置的测试装置