法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-04-09
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G09B23/12 授权公告日:20120926 终止日期:20130222 申请日:20120222
专利权的终止
2012-09-26
授权
授权
机译: 在液体表观或退火过程中产生挥发性液体的受控不饱和蒸气压的方法和装置
机译: 在液体外延或退火过程中产生挥发性液体的受控不饱和蒸气压的方法和设备
机译: 在液体外延或退火过程中产生挥发性液体的受控不饱和蒸气压的方法和设备