法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-08-21
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):D21H11/14 授权公告日:20120314 终止日期:20120701 申请日:20110701
专利权的终止
2012-03-14
授权
授权
机译: 一种半导体生产系统,以及从这类系统中流过的至少一种全混合气体的回收
机译: 半导体生产系统和从这样的系统中混合的气体中至少回收一种全化合物的气体
机译: 半导体生产系统和从这样的系统中混合的气体中至少回收一种全化合物的气体