超高真空直线推动导入器

摘要

本实用新型涉及真空设备。超高真空直线推动导入器，外筒一端装有后部板，另一端固定安装真空设备连接法兰，真空设备连接法兰置于外筒内的一端焊接波纹管，波纹管置于外筒内，且另一端焊接可动法兰，波纹管内装有导入棒，导入棒一端活动插接在真空设备连接法兰中心孔内，导入棒另一端焊接在可动法兰端面，可动法兰导入棒的背面固定装有推动杆，推动杆与后部板活动插接。本实用新型采用固定波纹管密封，使得直线驱动顺畅，密封性能佳，达到放出气体少的要求，手动驱动自由，超高真空环境中的直线驱动在大气侧通过外部推动杆直推驱动，速度快且便捷，直线驱动位置控制精确。