圆柱状部件的研磨装置、圆柱状部件以及圆柱状部件的研磨方法

摘要

本发明提供研磨装置及其研磨方法。将由硬脆材料构成的被加工物加工为规定直径的圆柱形状，并且除去存在于该被加工物的表层部的微小的裂缝，且除去表面的凹凸而使表面粗糙度微细化。研磨装置具备：与被加工物的旋转机构连结且夹持上述被加工物的两端面的夹持机构；前端与上述被加工物的外周面接触并旋转来进行研磨加工的研磨机构；使上述被加工物相对于上述研磨机构沿上述被加工物的圆柱状的轴心方向相对移动的移动机构；检测研磨加工完成品以及研磨加工前的被加工物的高度位置的高度位置检测机构；以及对所输入的上述高度位置以及加工条件进行运算来进行研磨加工的控制机构，上述研磨机构至少具备一个以上的磨石和一个以上的具备含有磨粒的毛材或者弹性体的研磨刷，上述磨石与上述研磨刷沿着圆柱状的被加工物的轴心而连续设置。