公开/公告号CN103346069B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-01-13
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院宁波材料技术与工程研究所;
申请/专利号CN201310251540.2
申请日2013-06-21
分类号H01L21/203(20060101);H01L31/20(20060101);C23C14/35(20060101);
代理机构33226 宁波奥圣专利代理事务所(普通合伙);
代理人谢潇
地址 315201 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号
入库时间 2022-08-23 09:33:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-01-13
授权
授权
2014-01-29
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/203 申请日:20130621
实质审查的生效
2013-10-09
公开
公开
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