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可任意角度安装使用的真空蒸发源

摘要

本发明涉及一种可任意角度安装使用的真空蒸发源,热屏蔽组件、真空法兰、容器、固定于所述热屏蔽组件内用于内置容器的加热组件、温度测量组件、安装在所述真空法兰上且分别与加热组件和温度测量组件相电连接的真空电连接器,所述容器可拆卸嵌设于热屏蔽组件远离真空法兰的一端,所述的容器具有内腔且其远离真空法兰的一端设有与内腔相连通的开口,所述的开口处设有伸入内腔的周壁,所述周壁伸入内腔的端部敞开且其面积小于与其处于同一平面内的内腔面积。通过在开口处设有伸入内腔的周壁,并且周壁伸入内腔的端部敞开且其面积小于与其处于同一平面内的内腔面积,当真空蒸发源处于倾斜或者倒置状态时可以防止蒸发材料从开口处掉落。

著录项

  • 公开/公告号CN103789733B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2015-12-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 苏州驰鸣纳米技术有限公司;

    申请/专利号CN201410068970.5

  • 发明设计人 迟力峰;王文冲;

    申请日2014-02-27

  • 分类号

  • 代理机构苏州创元专利商标事务所有限公司;

  • 代理人项丽

  • 地址 215123 江苏省苏州市工业园区仁爱路199号B07楼327-6单元

  • 入库时间 2022-08-23 09:32:58

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-12-16

    授权

    授权

  • 2015-03-18

    专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C14/24 变更前: 变更后: 登记生效日:20150217 申请日:20140227

    专利申请权、专利权的转移

  • 2014-06-11

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/24 申请日:20140227

    实质审查的生效

  • 2014-05-14

    公开

    公开

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