Si基GeMSM波导共振腔增强型光电探测器

摘要

本发明是Si基GeMSM波导共振腔增强型光电探测器，包括光电二极管、高频放大电路、交流耦合电容、宽带匹配电路、低频取样电路、低频放大电路、低频滤波电路、交流直流切换电路；其中，光电二极管接收光信号转换为电信号，光电二极管阳极输出的高频电信号经高频放大器放大后经过电容交流耦合输出；低频电信号通过低频取样电路在光电二极管阴极与偏置电源之间取出，经过低频放大和滤波后输出；低频电信号通过交流直流切换电路、宽带匹配电路和高频电信号组合实现交流直流可切换的宽带高速光探测器。本发明可应用于光通信、光传感等领域。