用于跟踪基板的边缘及从基板的边缘去除涂层的系统和方法

摘要

一种用于从基板去除涂层的方法，所述方法可包括：定位基板的边缘；以适合于沿着第二路径重新引导激光束的入射角度，沿着第一路径引导激光束到达基板的表面上接近基板的边缘的第一位置，引导激光束通过基板，引导激光束到达基板的第二表面上与基板的被定位的边缘对应的第二位置，其中，第二表面可包括涂层；使位于基板的第二表面上的第二位置处的至少一部分涂层消融。