吸收辐射的聚合物、用于吸收辐射涂层的组合物、吸收辐射的涂层及其作为抗反射涂层的应用

摘要

一种与吸收辐射的染料以化学键相连的吸收辐射聚合物对于预定波长的辐射具有高度的吸收，它对基底显示良好的粘结性能，和良好的形成薄膜的性能，它对光刻胶没有依存性，它溶解于光刻胶溶剂，但在烘烤以后变为不溶；并公开了含有这种聚合物的吸收辐射涂层用的组合物，和吸收辐射涂层，比如由这种组合物形成的抗反射涂层。该吸收辐射聚合物所包括的聚合物，同时含有在其侧链上含有酮基和二价基团(优选亚甲基)的单体构成的交联单元，和含有直接或通过链接基团键合在主链上的生色团的单体构成的交联单元。这种吸收辐射聚合物溶解于如醇类、芳烃、酮类和醚类等溶剂中，得到的溶液被涂布的蜂窝夹心层上、烘烤，形成吸收辐射涂层，如抗反射涂层。在此涂层上涂布一种比如化学增强的光刻胶。然后将此被涂布的基底在远紫外线(DUV)下曝光和显影，形成排除了驻波影响的精细光刻胶花样。