碱产生剂、感光性树脂组合物、包含该感光性树脂组合物的图案形成用材料、使用了该感光性树脂组合物的图案形成方法以及物品

摘要

本发明涉及一种碱产生剂，其用下述化学式(1)表示，且通过电磁波的照射和加热而产生碱。本发明为灵敏度优异且不管高分子母体的种类如何均可以利用的碱产生剂，含有本发明的碱产生剂的感光性树脂组合物可以在曝光部和未曝光部得到大的溶解性对比度，从而得到形状良好的图案。化学式(1)。