碱产生剂、感光性树脂组合物、由该感光性树脂组合物形成的图案形成用材料、使用该感光性树脂组合物的图案形成方法以及物品

摘要

本发明提供一种感光性树脂组合物及可利用于这样的感光性树脂组合物的碱产生剂，所述感光性树脂组合物的分辨性优异、成本低且通过碱性物质或通过在碱性物质的存在下的加热而生成最终产物的反应得到促进的高分子前体在结构上可应用的选择范围宽。所述碱产生剂的特征在于具有特定的结构且通过照射电磁波和加热来产生碱，所述感光性树脂组合物的特征在于含有：碱产生剂及通过碱性物质或通过在碱性物质存在下的加热而生成最终产物的反应得到促进的高分子前体。