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公开/公告号CN101925985B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-11-20
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN200980103876.6
发明设计人 托尼·方;金允尚;安德鲁·D·拜勒;奥利维尔·利古塔;
申请日2009-01-16
分类号
代理机构上海胜康律师事务所;
代理人周文强
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:16:55
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-11-20
授权
2011-02-02
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/3065 申请日:20090116
实质审查的生效
2010-12-22
公开
机译: 气体调制以控制边缘蚀刻等离子室中的边缘排除
机译:在双频CH2F2 / H2 / Ar电容耦合等离子体中蚀刻具有极端紫外线抗蚀剂图案的氮氧化硅期间的无限蚀刻选择性和线边缘粗糙度变化
机译:在双频CH_2F_2 / H_2 / Ar电容耦合等离子体中蚀刻具有极端紫外线抗蚀剂图案的氮氧化硅期间的无限蚀刻选择性和线边缘粗糙度变化
机译:当磁扰动应用于MAST中的边缘定位模式控制时,等离子体边缘的三维波纹
机译:通过在硅沟槽技术中施加的等离子体蚀刻工艺来降低缺损密度的斜面边缘处理
机译:气体通过纳米多孔聚碳酸酯径迹蚀刻膜的渗透:薄涂层的脉冲等离子体聚合,以调节气体的渗透性。
机译:垂直和斜面结构的SiC蚀刻技术结合了用于各种微电子应用的不同混合气体等离子体
机译:HIT墙报2P479Strain一致性在真实世界场景:在设备upgradeP4803D超声心动图检查后,我们实验室的经验是为测量快速学习和可靠的方法左心房在心脏再同步治疗除颤器patientsP482Noninvasively长期适当的抗心律失常治疗相关volumesP481Echocardiographic参数测量了全球浪费心肌工作允许患者依从性左束支传导blockP483The影响到体育锻炼上的最新室定量建议健康未受训练的绝经后womenP484The影响心血管重构和代谢状态的改善典型左室机械不同步模式的定量评估上的预测左心耳血栓presenceP485The心脏富集miRNA的血浆水平(的miR-1,的miR-133a的,的miR-499)反映受损左心室收缩功能及CORREL吃用的患者的严重主动脉瓣狭窄NSTE-ACSP486Acute区域心肌变形的变化早期心肌坏死标志物和后射血分数分离主动脉瓣膜replacementP487Left心室旋转在无症状患者慢性主动脉瓣反流和正常左心室射血分数P488The适当使用不变形对于感染endocarditisP489In肥厚型心肌病患排除经胸超声心动图,由三维超声心动图左心室质量和形状与动态障碍物和功能capacityP490Mitral相关小叶上浆肥厚型心肌病:的心房纤维性颤动中肥胖womenP492Echocardiographic方法和timingP491Echocardiographic预测结果的影响对于syndromeP493Left左室质量发育不全左心脏杂交程序后的30天死亡率的危险因素是冠状动脉血流RESER的独立预测因子已经:见解从一个单一的中心的应力回波cohortP494Transesophageal echocardigoraphy纳清醒镇静用于引导低温球囊肺静脉阵发性心房颤动隔离 - 下清醒镇静的安全性和可行性studyP495Transesophageal echocardigoraphy为阵发性心房颤动引导低温球囊肺静脉隔离 - 安全性和可行性studyP496Three的经皮二尖瓣边缘到边缘repairP497Clinical全球及区域纵向应变的心肌缺血的预测无症状糖尿病类型值2 patientsP499Comparison对预后手术风险冲击二尖瓣环的直接形态学变化维经食道超声心动图评估全球纵向应变右心室(RV GLS)和三尖瓣环平面收缩漂移(TAPSE)患者的早期舒张功能障碍性脑缺血cardioP498Right心脏功能值:2D斑点的trackin右心室2D的functionP500比较右心房的和g超声心动图基于评估,3D食管超声心动图和计算机断层左心耳闭合的评估过程中
机译:通过紧凑型螺旋系统中的本地岛屿偏滤器进行边缘等离子体控制