控制斜面边缘蚀刻等离子体室中的边缘排除的气体调节

摘要

各种实施方式提供了除去衬底的斜面边缘附近的不想要的沉积物以提高处理良率的装置和方法。该实施方式提供了具有中心和边缘气体进口作为附加的处理调节器以选择最合适的斜面边缘蚀刻处理以将边缘排除区域进一步向外朝着该衬底边缘推动的装置和方法。进一步，该实施方式提供了具有（一种或多种）微调气体以改变斜面边缘处的蚀刻轮廓并使用中心和边缘气体进口的组合来将处理和微调气体流入该室的装置和方法。微调气体的使用和（一个或多个）气体进口的位置两者都会影响斜面边缘处的蚀刻特性。还发现总气流、该气体输送板和衬底表面之间的空隙距离、压强和（一种或多种）处理气体的类型也影响斜面边缘蚀刻轮廓。