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氢化物气相外延生长GaN单晶用的H₃PO₄腐蚀籽晶及其制备方法

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摘要

本发明涉及一种氢化物气相外延生长氮化镓单晶用的磷酸腐蚀籽晶及其制备方法，包括以下步骤：在衬底上生长GaN外延薄膜片，得GaN外延片；将GaN外延片浸入H₃PO₄溶液中腐蚀；将GaN外延片腐蚀后迅速取出放入水中终止腐蚀，得到GaN外延薄膜层面具有H₃PO₄腐蚀坑结构的籽晶；将上述腐蚀后具有H₃PO₄腐蚀坑结构的籽晶经过清洗、吹干后，放入HVPE生长系统中外延生长GaN单晶。本发明无需采用复杂工艺制备具有特殊结构的GaN基板，工艺简单，成本低廉，且生长温度低，适合于批量生产。

著录项

公开/公告号CN102286777B

专利类型发明专利
公开/公告日2013-11-13

原文格式PDF
申请/专利权人山东天岳先进材料科技有限公司;
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申请/专利号CN201110249039.3
发明设计人郝霄鹏;张雷;吴拥中;邵永亮;张浩东;
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申请日2011-08-26
分类号H01L21/205(20060101);C30B25/02(20060101);C30B29/38(20060101);C30B33/10(20060101);
代理机构37219 济南金迪知识产权代理有限公司;
代理人吕利敏
地址 250000 山东省济南市高新区新泺路银荷大厦C座3层
入库时间 2022-08-23 09:16:35

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-06-26

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L21/205 登记号:Y2020980002693 登记生效日:20200602 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2020-06-12

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):H01L21/205 授权公告日:20131113 登记号:2019370000110 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行解除日:20200519 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2020-06-12

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):H01L21/205 授权公告日:20131113 登记号:2019370000110 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行解除日:20200519 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2019-06-14

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L21/205 登记号:2019370000110 登记生效日:20190521 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2019-06-14

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L21/205 登记号:2019370000110 登记生效日:20190521 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2019-06-14

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L 21/205 登记号:2019370000110 登记生效日:20190521 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2019-06-11

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):H01L21/205 授权公告日:20131113 登记号:2018370000091 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行解除日:20190520 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2019-06-11

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):H01L21/205 授权公告日:20131113 登记号:2018370000091 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行解除日:20190520 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2019-06-11

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):H01L 21/205 授权公告日:20131113 登记号:2018370000091 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行解除日:20190520 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2019-06-11

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):H01L 21/205 授权公告日:20131113 登记号:2018370000091 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行解除日:20190520 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2018-06-08

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L21/205 登记号:2018370000091 登记生效日:20180517 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2018-06-08

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L21/205 登记号:2018370000091 登记生效日:20180517 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2018-06-08

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L21/205 登记号:2018370000091 登记生效日:20180517 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2018-06-08

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L21/205 登记号:2018370000091 登记生效日:20180517 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2018-06-08

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L 21/205 登记号:2018370000091 登记生效日:20180517 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2018-06-05

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):H01L21/205 授权公告日:20131113 登记号:2017370000059 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行解除日:20180511 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2018-06-05

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):H01L21/205 授权公告日:20131113 登记号:2017370000059 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行解除日:20180511 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2018-06-05

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):H01L21/205 授权公告日:20131113 登记号:2017370000059 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行解除日:20180511 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2018-06-05

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):H01L21/205 授权公告日:20131113 登记号:2017370000059 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行解除日:20180511 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2018-06-05

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):H01L 21/205 授权公告日:20131113 登记号:2017370000059 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行解除日:20180511 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2018-06-05

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):H01L 21/205 授权公告日:20131113 登记号:2017370000059 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行解除日:20180511 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2017-06-16

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):H01L21/205 授权公告日:20131113 登记号:2016990000397 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行解除日:20170524 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2017-06-16

专利权质押合同登记的变更 IPC(主分类):H01L21/205 登记号:2016990000397 变更日:20170524 变更前: 变更后: 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2017-06-16

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L21/205 登记号:2017370000059 登记生效日:20170525 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2017-06-16

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):H01L21/205 授权公告日:20131113 登记号:2016990000397 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行解除日:20170524 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2017-06-16

专利权质押合同登记的变更 IPC(主分类):H01L21/205 登记号:2016990000397 变更日:20170524 变更前: 变更后: 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2017-06-16

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L21/205 登记号:2017370000059 登记生效日:20170525 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2017-06-16

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):H01L21/205 授权公告日:20131113 登记号:2016990000397 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行解除日:20170524 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2017-06-16

专利权质押合同登记的变更 IPC(主分类):H01L21/205 登记号:2016990000397 变更日:20170524 变更前: 变更后: 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2017-06-16

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L21/205 登记号:2017370000059 登记生效日:20170525 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2017-06-16

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):H01L21/205 授权公告日:20131113 登记号:2016990000397 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行解除日:20170524 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2017-06-16

专利权质押合同登记的变更 IPC(主分类):H01L21/205 登记号:2016990000397 变更日:20170524 变更前: 变更后: 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2017-06-16

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L21/205 登记号:2017370000059 登记生效日:20170525 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2017-06-16

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):H01L 21/205 授权公告日:20131113 登记号:2016990000397 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行解除日:20170524 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2017-06-16

专利权质押合同登记的变更 IPC(主分类):H01L 21/205 登记号:2016990000397 变更日:20170524 变更前: 变更后: 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2017-06-16

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L 21/205 登记号:2017370000059 登记生效日:20170525 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2017-06-16

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):H01L 21/205 授权公告日:20131113 登记号:2016990000397 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行解除日:20170524 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2017-06-16

专利权质押合同登记的变更 IPC(主分类):H01L 21/205 登记号:2016990000397 变更日:20170524 变更前: 变更后: 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2017-06-16

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L 21/205 登记号:2017370000059 登记生效日:20170525 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2017-06-16

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):H01L 21/205 授权公告日:20131113 登记号:2016990000397 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行解除日:20170524 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2017-06-16

专利权质押合同登记的变更 IPC(主分类):H01L 21/205 登记号:2016990000397 变更日:20170524 变更前: 变更后: 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2017-06-16

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L 21/205 登记号:2017370000059 登记生效日:20170525 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南槐荫支行发明名称:氢化物气相外延生长GaN单晶用的H 授权公告日:20131113 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2016-06-08

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):H01L21/205 授权公告日:20131113 登记号:2015990000326 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南段店支行解除日:20160517 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2016-06-08

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L21/205 登记号:2016990000397 登记生效日:20160517 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南段店支行发明名称:氢化物气相外延生长GaN单晶用的H3PO4腐蚀籽晶及其制备方法授权公告日:20131113 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2016-06-08

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):H01L21/205 授权公告日:20131113 登记号:2015990000326 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南段店支行解除日:20160517 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2016-06-08

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L21/205 登记号:2016990000397 登记生效日:20160517 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南段店支行发明名称:氢化物气相外延生长GaN单晶用的H3PO4腐蚀籽晶及其制备方法授权公告日:20131113 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2016-06-08

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):H01L21/205 授权公告日:20131113 登记号:2015990000326 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南段店支行解除日:20160517 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2016-06-08

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L21/205 登记号:2016990000397 登记生效日:20160517 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南段店支行发明名称:氢化物气相外延生长GaN单晶用的H3PO4腐蚀籽晶及其制备方法授权公告日:20131113 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2016-06-08

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):H01L21/205 授权公告日:20131113 登记号:2015990000326 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南段店支行解除日:20160517 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2016-06-08

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L21/205 登记号:2016990000397 登记生效日:20160517 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南段店支行发明名称:氢化物气相外延生长GaN单晶用的H3PO4腐蚀籽晶及其制备方法授权公告日:20131113 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2016-06-08

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):H01L 21/205 授权公告日:20131113 登记号:2015990000326 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南段店支行解除日:20160517 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2016-06-08

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L 21/205 登记号:2016990000397 登记生效日:20160517 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南段店支行发明名称:氢化物气相外延生长GaN单晶用的H3PO4腐蚀籽晶及其制备方法授权公告日:20131113 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2016-06-08

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):H01L 21/205 授权公告日:20131113 登记号:2015990000326 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南段店支行解除日:20160517 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2016-06-08

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L 21/205 登记号:2016990000397 登记生效日:20160517 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南段店支行发明名称:氢化物气相外延生长GaN单晶用的H3PO4腐蚀籽晶及其制备方法授权公告日:20131113 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2016-06-08

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):H01L 21/205 授权公告日:20131113 登记号:2015990000326 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南段店支行解除日:20160517 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2016-06-08

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L 21/205 登记号:2016990000397 登记生效日:20160517 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南段店支行发明名称:氢化物气相外延生长GaN单晶用的H3PO4腐蚀籽晶及其制备方法授权公告日:20131113 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2015-06-17

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L21/205 登记号:2015990000326 登记生效日:20150424 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南段店支行发明名称:氢化物气相外延生长GaN单晶用的H3PO4腐蚀籽晶及其制备方法授权公告日:20131113 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2015-06-17

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L21/205 登记号:2015990000326 登记生效日:20150424 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南段店支行发明名称:氢化物气相外延生长GaN单晶用的H3PO4腐蚀籽晶及其制备方法授权公告日:20131113 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2015-06-17

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L21/205 登记号:2015990000326 登记生效日:20150424 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南段店支行发明名称:氢化物气相外延生长GaN单晶用的H3PO4腐蚀籽晶及其制备方法授权公告日:20131113 申请日:20110826

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2015-06-17

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L21/205 登记号:2015990000326 登记生效日:20150424 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南段店支行发明名称:氢化物气相外延生长GaN单晶用的H3PO4腐蚀籽晶及其制备方法授权公告日:20131113 申请日:20110826

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2015-06-17

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2015-06-17

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L 21/205 登记号:2015990000326 登记生效日:20150424 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南段店支行发明名称:氢化物气相外延生长GaN单晶用的H3PO4腐蚀籽晶及其制备方法授权公告日:20131113 申请日:20110826

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专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L 21/205 登记号:2015990000326 登记生效日:20150424 出质人:山东天岳先进材料科技有限公司质权人:齐鲁银行股份有限公司济南段店支行发明名称:氢化物气相外延生长GaN单晶用的H3PO4腐蚀籽晶及其制备方法授权公告日:20131113 申请日:20110826

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2013-11-13

授权

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2013-11-13

授权

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2013-11-13

授权

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2013-11-13

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2013-11-13

授权

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2013-11-13

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2013-11-13

授权

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2012-02-08

实质审查的生效 IPC(主分类):C30B25/02 申请日:20110826

实质审查的生效
2012-02-08

实质审查的生效 IPC(主分类):C30B25/02 申请日:20110826

实质审查的生效
2012-02-08

实质审查的生效 IPC(主分类):C30B25/02 申请日:20110826

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2012-02-08

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实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 25/02 申请日:20110826

实质审查的生效
2011-12-21

公开

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2011-12-21

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