法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-12-16
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B 11/02 授权公告日:20130904 终止日期:20141028 申请日:20111028
专利权的终止
2013-09-04
授权
授权
2012-07-18
实质审查的生效 IPC(主分类):G01S 11/12 申请日:20111028
实质审查的生效
2012-06-20
公开
公开
机译: 在微机械法布里 - 珀罗干涉仪装置中制造中间组分的方法,制造微机械法布里 - 珀罗干涉仪装置的方法,以及微机械法布里 - 珀罗干涉仪装置
机译: 装置-基于BIAS的法布里-珀罗干涉仪的两种波长的光
机译: 法布里-珀罗-干涉仪-单元,一种用于操作法布里-珀罗-干涉仪-单元的方法以及一种制造法布里-珀罗-干涉仪-单元的方法