摘要：本文设计和数值研究了基于等效啁啾技术的分布反馈半导体激光器与马赫-曾德尔调制器的集成器件.在激光器的光栅中心引入等效π相移,从而提高激光器单模输出.为了提高激光器出光的利用率,在激光器两个输出端面设计了对称的外接弯曲波导,在弯曲波导之后是一段直波导,再之后是弯曲波导,最后,使用多模干涉波导将两个波导的光耦合出来.数值计算了弯曲波导的损耗,结果表明,随着弯曲波导半径的增大,弯曲波导的损耗减小.同时为了得到适中的集成器件面积,弯曲波导的半径取1500μm,并在直波导上设计电极,从而构成马赫-曾德尔调制器.为了使得结构紧凑,将电极设计在内侧的空白处,通过调节马赫-曾德尔调制器的输入电流,可以对激光器的输出进行调制.结果表明,调制速率可以达到10Gb/s.
