公开/公告号CN102289149B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-06-05
原文格式PDF
申请/专利权人 锦湖石油化学株式会社;
申请/专利号CN201110122341.2
申请日2011-05-09
分类号G03F7/004(20060101);C07C381/12(20060101);C07C309/12(20060101);C07C303/32(20060101);
代理机构72003 隆天国际知识产权代理有限公司;
代理人吴小瑛;任晓华
地址 韩国首尔市
入库时间 2022-08-23 09:14:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-28
专利权的转移 IPC(主分类):G03F7/004 登记生效日:20200810 变更前: 变更后: 申请日:20110509
专利申请权、专利权的转移
2013-06-05
授权
授权
2013-06-05
授权
授权
2012-02-08
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/004 申请日:20110509
实质审查的生效
2012-02-08
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/004 申请日:20110509
实质审查的生效
2011-12-21
公开
公开
2011-12-21
公开
公开
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机译: 含有相同成分的光生酸剂和化学增强的抗蚀剂组合物
机译: 磺胺酸衍生物化合物作为光生酸剂在抗蚀剂中的应用
机译: 磺胺酸衍生物化合物作为光生酸剂在抗蚀剂中的应用