碱可溶性树脂、保护层组合物、保护层、叠层体以及光刻胶图案的形成方法

摘要

本发明提供一种碱可溶性树脂、保护层组合物、保护层、叠层体以及光刻胶图案的形成方法。保护层组合物包括碱可溶性树脂(A)、疏水性树脂(B)以及溶剂(C)，其中碱可溶性树脂(A)包括下述式(1)所示的结构单元(a1)、下述式(2)所示的结构单元(a2)、以及下述式(3)所示的结构单元(a3)。