公开/公告号CN115398589A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-11-25
原文格式PDF
申请/专利权人 浜松光子学株式会社;
申请/专利号CN202180028052.8
申请日2021-01-28
分类号H01J19/12;G21K5/00;G21K5/02;G21K5/04;H01J1/13;H01J1/18;H01J1/22;H01J19/16;H01J19/20;H01J35/00;H01J35/06;H05G1/00;
代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司;
代理人杨琦;黄浩
地址 日本静冈县
入库时间 2023-06-19 17:43:36
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-11-25
公开
国际专利申请公布
机译: 电子束产生源,电子束辐射装置和X射线照射装置
机译: 电子束产生源,电子束辐射装置和X射线照射装置
机译: 电子束照射装置,扫描电子显微镜装置和X射线分析装置