工手シマ光照射装置電子線照射装置

摘要

ウシオ電機では従来の紫外線ランプに付け加え「ェキシマ光照射装置」と「電子線照射装置」を製品化している。 1．工手シマ光照射装置光は，その波長が短いほど強い化学エネルギーをもつことは知られている。 例えば，誘電体バリア放電エキシマランプは，Ⅹeガスを封入し，従来の紫外線ランプでは実現できなかった単色光172nm（真空紫外線）を効率よく発光する。 ウシオの172nm照射装置は，世界中の液晶製造工程において，汚染の原因となる有機物を瞬時に分解·除去並びに表面改質を行い，ガラス基板の表面を親水化処理できることなどから，既に1，000台以上の実績を有する。