表面性状测定机和表面性状判定方法

摘要

本发明提供一种表面性状测定机和表面性状判定方法。表面性状测定机具备：参数设定部(422)，其设定与工件的表面性状相关的一个以上的参数；测定部(423)，其基于扫描工件或主工件的表面所得到的位移测定数据，来计算与参数对应的测定值；判定值计算部(424)，其将主工件的测定值设为基准值，将相对于基准值成为规定的比例的值设为公差，来计算与参数对应的判定值；以及判定部(425)，其针对每个参数而将工件的测定值与判定值进行比较。