表面性状测定方法和表面性状测定装置

摘要

本发明提供一种表面性状测定方法和表面性状测定装置，不利用测定臂的位移速度的监视以及施加于测定臂的测定力的控制就能够防止在测定时臂落下。使用表面性状测定装置，该表面性状测定装置具有被支承为以使触针(12)沿上下方向产生位移的方式自如摆动的臂(11)和使臂(11)转动来将触针(12)保持在规定高度的臂升降机(20)，将臂升降机(20)配置为能够将臂(11)保持在下限高度(L3)的状态，该下限高度(L3)为从规定的测定高度(L1)起的向下规定的落下量(F)的位置，之后，将臂(11)配置在下限高度(L3)且使触针(12)接触被测定物(W)，在该状态下对被测定物(W)的表面性状进行测定。