表面性状指标化装置、表面性状指标化方法以及程序

摘要

利用基于多个照明波长、测定角度的测定结果来将测定对象物的表面性状统一地指标化。本发明所涉及的表面性状指标化装置具备：测定装置，其通过一边选择波长一边拍摄照明光在测定对象物的表面处的反射光，来生成多个摄像图像；以及运算处理装置，其基于所得到的多个摄像图像来将测定对象物的表面性状指标化。由测定装置生成的摄像图像是成像于摄像装置的反射光的波长相同、并且成像于摄像装置的反射光的反射角在摄像图像中的与测定对象物的长度方向对应的方向上互不相同的图像。运算处理装置通过重构所生成的多个摄像图像来生成多个处理对象图像，并基于所生成的多个处理对象图像来将测定对象物的表面性状指标化，其中，该处理对象图像是由反射光的波长彼此相同且反射光的反射角彼此相同、且与测定对象物的不同的视野位置对应的像素构成的。