电动真空阀的排气速度控制方法、排气速度控制系统及阀开度设定点决定方法

摘要

本发明提供能够以使腔室的压力与目标压力降斜率接近的方式简单且低价地设定切换电动真空阀的阀开度的设定点的电动真空阀的排气速度控制方法、排气速度控制系统及阀开度设定点决定方法。将电动真空阀(21)的阀开度按照等比倍数阶段性地进行控制，在各阀开度下利用真空泵(13)从粘性流区域进行排气，利用压力传感器(15)测定腔室的真空压力以实测出压力降曲线(Y1、Y2、Y3、Y4)以后，使压力降曲线(Y1、Y2、Y3、Y4)以与目标压力降斜率X近似的方式在时间上偏移，将压力降曲线彼此的交点决定为切换电动真空阀(21)的阀开度的设定点(P11、P12、P13)，其后，基于设定点(P11、P12、P13)切换电动真空阀(21)的阀开度，控制粘性流区域中的排气速度。