套刻图形、旋转误差校准方法和上片旋转精度测量方法

摘要

本发明提供了一种套刻图形、旋转误差校准方法和上片旋转精度测量方法，套刻图形包括第一套刻测量图形和第二套刻测量图形；第一套刻测量图形和第二套刻测量图形中的其中一者包括呈中心对称分布的四组条纹图形，每一条纹图形均包括2n+1条等间隔设置的条纹且关于中间条纹对称；第一套刻测量图形和第二套刻测量图形中的另一者包括呈中心对称分布的四组具有尖端的尖端图形，尖端图形的尖端和与其对应的条纹图形的中间条纹对应设置。本发明通过观察尖端图形的尖端与条纹图形的中间条纹之间的位置即可以快速判断校准值并进行实时校准。