基于双位移检测的微纳米尺度原位压痕测试装置

摘要

本发明涉及一种基于双位移检测的微纳米尺度原位压痕测试装置，可在扫描电子显微镜、透射电子显微镜、拉曼光谱仪、高分辨率光学显微镜、X射线衍射仪等仪器设备原位监测下进行原位纳米压痕测试的材料力学性能测。该装置的技术方案是：试件宏动调整机构和金刚石工具头组件安装在装置的底座上；精密微位移加载单元通过支承座安装在试件宏动调整机构的滑台上；精密位移检测单元的两个位移传感器嵌入在精密微位移加载单元中，通过位移变化得到压入过程中的压入载荷和压入深度值，最终结合压入理论计算出材料的力学参数。本装置结构紧凑、小型化，克服了现有测试装置由于使用载荷力传感器导致结构尺寸大，无法动态监测变形损伤过程的缺点。