自动测试大尺寸硅基碲镉汞薄膜厚度的装置及测试方法

摘要

本发明公开了一种自动测试大尺寸硅基碲镉汞薄膜厚度的装置及测试方法，本发明通过设计自动旋转样品的旋转台来实现小行程样品台即可以测试6英寸等更大尺寸的硅基碲镉汞薄膜材料的功能，结合数据拼接软件可以将4个象限的测试结果进行拼接，从而实现准确测定6英寸硅基碲镉汞薄膜材料的Mapping厚度，进而有效解决了现有不能对大尺寸的硅基碲镉汞薄膜材料进行厚度测试的问题。