公开/公告号CN114141658A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-04
原文格式PDF
申请/专利权人 东京毅力科创株式会社;
申请/专利号CN202111027548.1
申请日2021-09-02
分类号H01L21/67(20060101);H01L21/3065(20060101);G05D23/20(20060101);
代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人金雪梅;王海奇
地址 日本东京都
入库时间 2023-06-19 14:23:39
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-04
公开
发明专利申请公布
机译: 陈列柜仓库内的设定温度推定装置,设定温度推定程序和设定温度推定方法内部的仓库
机译: 转子温度推定方法,制动控制装置以及涡流式减速装置的涡流式减速装置
机译: 半导体基板热处理装置的温度推定方法及半导体基板热处理装置