公开/公告号CN114025925A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-08
原文格式PDF
申请/专利权人 川崎重工业株式会社;
申请/专利号CN202080046702.7
申请日2020-04-03
分类号B25J9/22(20060101);H01L21/67(20060101);G05B19/42(20060101);
代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人王秀辉
地址 日本兵库县
入库时间 2023-06-19 14:06:32
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-02-08
公开
国际专利申请公布
机译: 光学超分辨扫描显微镜中的表面映射方法及光学超分辨扫描显微镜中的映射方法
机译: 光学超分辨扫描显微镜中的表面映射方法及光学超分辨扫描显微镜中的映射方法
机译: 元件映射装置,扫描透射电子显微镜和元件映射方法