一种晶圆边缘用物理清洗装置

摘要

本发明公开了一种晶圆边缘用物理清洗装置，包括电机、第一齿型轮、齿型带、伸缩杆、L型板，所述电机的输出轴上安装有所述第一齿型轮，所述第一齿型轮的一侧安装有第二齿型轮，所述第二齿型轮与所述第一齿型轮通过所述齿型带连接，所述第二齿型轮安装在空心轴上，所述空心轴的下端安装有转动接头，所述第二齿型轮的上方且连接于所述空心轴设置有第二固定座。本发明整体结构简单，操作使用方便可靠，利用上毛刷、下毛刷以及侧毛刷对晶圆的边缘进行清洗，清洗的效果好，智能化程度高，具有较强的推广使用价值。