一种压阻式高g值加速度计

摘要

本发明公开一种压阻式高g值加速度计,包括上层敏感结构，上层敏感结构包括加速度计框架、质量块及质量块外围支撑框架；在质量块外围支撑框架内设置四个质量块，在四个质量块之间形成正交于中心轴的十字间隙；每两个相邻的质量块之间的间隙上设置连接两质量块的敏感梁，每个敏感梁上设置有构成惠斯通电桥的电路压敏电阻，所述敏感梁的厚度远小于质量块的厚度。本发明的有益效果是：由于相邻的两个质量块之间的间隙，使质量系统的整体质心的上移，从而抑制横向效应。压敏电阻位于敏感梁上，由于整个结构的应力主要集中于敏感梁，有利于提高结构灵敏度。本发明对于解决高g值加速度计存在的灵敏度低的问题、减小横向效应具有重要的意义。