一种降低直线进给系统速度波动的方法

摘要

本发明涉及超精密加工技术领域，具体涉及一种降低直线进给系统速度波动的方法。本发明采用双电机六次谐波转矩差半周期奇数倍控制，有效降低了直线进给系统速度波动，与对电机结构设计进行改进的方法相比，有效降低了电机设计和制造成本，与通过特殊的控制方法如自适应滑膜控制、鲁棒控制、比例‑积分‑谐振控制、转矩脉动辨识与补偿方法等相比，控制方法更简单，控制参数更易调整，系统可靠性更高，降低进给系统速度波动的效果更加明显。本发明解决了超精密加工过程中由于进给系统本身输出转矩谐波引起进给系统速度波动导致工件表面加工质量差的难题，能够实现超精密加工过程中的高精度直线运动，显著提高工件的加工质量。