公开/公告号CN113862671A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-12-31
原文格式PDF
申请/专利权人 科汇纳米技术(深圳)有限公司;
申请/专利号CN202111124614.7
申请日2021-09-25
分类号C23C28/00(20060101);C23C16/26(20060101);C23C16/50(20060101);C23C14/16(20060101);C23C14/06(20060101);C23C14/02(20060101);C23C14/35(20060101);
代理机构11508 北京维正专利代理有限公司;
代理人黄勇;任志龙
地址 518101 广东省深圳市宝安区福永街道桥头社区重庆路2号第2栋第二层厂房
入库时间 2023-06-19 13:30:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-08-02
授权
发明专利权授予
机译: 带有类金刚石膜的金属物体及形成类金刚石膜的方法
机译: 形成类金刚石膜和用类金刚石膜形成金属物体的方法
机译: 类金刚石膜的产品,以及制造该类膜的设备和方法,以防止类金刚石膜的机械性能降低