基于波前校正的低像差高精度二维光电自准直方法与装置

摘要

本发明属于精密测试计量技术领域，提出一种基于波前校正的低像差高精度二维光电自准直方法与装置。本发明在传统自准直仪测量方法中增加光源光束相位补偿环节，该环节利用仪器内参考光路的波前畸变信息通过驱动变形镜补偿光源光束相位，实现对自准直仪光源出射光束角漂移的测量与补偿，减小像差，提高光学系统的成像质量与光斑定位精度，进而提高了自准直仪角度测量精度。同时引入该环节使自准直仪光源出射光束具有极高的光束质量和稳定性，进一步提高自准直仪角度测量的分辨力与稳定性。该方法使传统自准直仪具备纳弧度量级(5×10‑9rad，即0.001″)的角度分辨力和亚微弧度量级(10‑7rad，即0.02″)的角度测量精度。本发明具有同等条件下，实现高分辨力、高精度、高稳定性兼顾的角度测量的技术优势，同时具备抗环境扰动和补偿扰动引起的误差的能力。