公开/公告号CN113667478A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-11-19
原文格式PDF
申请/专利权人 东莞市中科原子精密制造科技有限公司;
申请/专利号CN202111015328.7
发明设计人 韦静;
申请日2021-08-31
分类号C09K11/84(20060101);H01J9/22(20060101);H01J29/20(20060101);
代理机构11477 北京尚伦律师事务所;
代理人谢丽莎
地址 523003 广东省东莞市松山湖园区学府路1号2栋524室
入库时间 2023-06-19 13:20:03
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