凹凸图案干燥用组合物、及表面具有凹凸图案的基板的制造方法

摘要

本发明的凹凸图案干燥用组合物包含升华性物质、及1大气压下的沸点比升华性物质的沸点或升华点低5℃以上且1大气压下的沸点为75℃以下的溶剂。