电阻式金属氧化物气体传感器及其制造方法和操作该传感器的方法

摘要

电阻式金属氧化物气体传感器包含支撑结构和布置在支撑结构上或部分地容纳在支撑结构中的多孔传感层(1)。电极(2)与多孔传感层(1)电连通，并且加热器(3)与多孔传感层(1)热连通。可操作加热器(3)以加热多孔传感层(1)至目标温度从而允许基于经由电极(2)提供的传感信号来测定目标气体即臭氧的存在或浓度。多孔传感层(1)包含相互连接的单晶金属氧化物纳米颗粒(14)的网络和该网络的气体选择性涂层(12)。多孔传感层(1)的厚度(t1)为至多10pm。涂层(12)包含氧化硅和氮化硅中的一种或多种，并具有小于5nm的厚度(t12)。