一种片上波长交错滤波器的工艺误差后补偿装置及方法

摘要

本发明提出一种片上波长交错滤波器的工艺误差后补偿装置及方法，解决了现有波长交错滤波器因工艺误差导致输出端口输出的光谱中通带不平坦，造成通道串扰高，滤波器性能下降的问题，引入带隙聚集光源，通过分析光谱特征，照射硫系材料制备成的部件，可改善通带的平坦度，获得快速滚降的边带，通过照射微环谐振腔波导区域或干涉臂调节干涉臂的光程差，从而调整端口的能量分布，降低通道串扰，可有效提高片上集成波分复用系统的通信容量，与传统需要持续电流输入的电光调制技术相比，这种使用带隙光单次照射补偿工艺误差的方法，没有额外的功耗，可保持器件稳定的性能，同时无需上层金属电路沉积流程，大幅降低器件制备成本。