一种锋芒类光束产生装置、深孔激光加工装置及方法

摘要

本发明涉及一种锋芒类光束产生装置、深孔激光加工装置及方法，属于激光加工技术领域，解决了现有技术中利用透镜对激光进行聚焦产生的光束瑞利长度短、进行深孔激光加工精度低、效率低的问题。该锋芒类光束产生装置包括：准直组件，用于对激光器产生的高斯光束进行准直；相位掩膜板，用于对准直后的高斯光束进行立方相位波前调控，获得锋芒类光束。该装置能够获得瑞利长度长的锋芒类光束，很大程度上提高了深孔激光加工的加工精度和加工效率。