一种基于磁场驱动磁性纳米粒子自组装的系统及加工方法

摘要

本发明公开了一种基于磁场驱动磁性纳米粒子自组装的系统及加工方法，包括硅衬底，硅衬底上设置有凹槽结构，所述凹槽结构包括第一金薄膜和第二金薄膜，所述第一金薄膜位于第二金薄膜之上，且二者一体化成型，所述第二金薄膜内部呈阵列嵌套有若干纳米软磁体，所述第一金薄膜上设置有若干贯穿槽，且贯穿槽和纳米软磁体一一对应设置，所述凹槽结构上侧设置有用于流通磁性纳米粒子悬浮液的微流体通道，所述微流体通道的上侧和硅衬底的下侧分别设置有偏置磁场。本发明借助于特殊设计的凹槽结构的几何约束作用，以及纳米软磁体的高局域强磁偶极子吸引力作用，促使磁性纳米粒子在外加偏置磁场的作用下，自组装形成稳定的组装结构。