卤素氟化物的除去方法和卤素氟化物混合气体中含气体成分的定量分析方法、定量分析装置

摘要

提供一种混合气体中所含的包含溴或碘的卤素氟化物的有效除去方法。另外，本发明提供一种能够有效且高精度地对卤素氟化物中的氧、氮、二氧化碳、四氟甲烷等杂质成分进行定量的定量分析方法。一种使含有卤素氟化物的混合气体与除去剂反应而除去所述混合气体中的卤素氟化物的方法，所述卤素氟化物包含溴或碘，所述除去剂是钾、钠、镁、钙和钡的氯化物、溴化物或碘化物。一种卤素氟化物混合气体中的含气体成分的定量分析方法，其特征在于，使含有卤素氟化物及其他气体成分的混合气体与除去剂反应，除去所述混合气体中的卤素氟化物，再除去生成的副产物，然后采用气相色谱仪对残存气体进行定量分析。