一种具有高深宽比的母版的制作方法、母版及其应用

摘要

本发明公开一种具有高深宽比的母版的制作方法，包括：提供一衬底；在衬底上制备一传递层；在传递层制备一具有第一图形凹槽的结构层；对第一图形凹槽进行刻蚀，直至达到所需深度的第三图形凹槽，得到母版，其中，第三图形凹槽包括设置于传递层的第一图形凹槽，及设置于传递层和结构层的第二图形凹槽。本发明还公开一种具有高深宽比的模具的制作方法，对上述母版进行翻版，得到具有高深宽比的模具。本发明还公开了一种具有高深宽比的母版，采用上述具有高深宽比的母版的制作方法制作。本发明还公开一种具有高深宽比的模具，采用上述具有高深宽比的模具的制作方法制作。通过上述方法，便于制作高深宽比的第三图形凹槽，同时对各层的可控性强。