公开/公告号CN112050167A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-12-08
原文格式PDF
申请/专利权人 复旦大学;
申请/专利号CN202010797262.0
申请日2020-08-10
分类号F21V5/04(20060101);G02B27/00(20060101);G03B15/02(20060101);G06F30/20(20200101);G06F17/13(20060101);
代理机构31200 上海正旦专利代理有限公司;
代理人陆飞;陆尤
地址 200433 上海市杨浦区邯郸路220号
入库时间 2023-06-19 09:09:01
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-12-20
授权
发明专利权授予
机译: 光学装置,即投影照明系统,一种用于微光刻的操作方法,涉及到用光照射透镜,从而在透镜中产生不均匀的温度分布以校正系统的缺陷。
机译: 一种使用金属模具生产用于汽车内部照明的透镜的方法和用于内部照明的透镜的方法
机译: 光学单元例如光学透镜,一种用于微光刻投影照明系统的保持和密封装置,其密封件可在密封件相对于透镜密封的位置和密封件与透镜间隔开的位置之间移动